濕電子化學(xué)品指為微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、互聯(lián)等）制程中使用的各種電子化工材料。按用途可分為通用化學(xué)品（又稱超凈高純試劑）和功能性化學(xué)品（以光刻膠配套試劑為代表）。

其中超凈高純試劑需求量占比達(dá)88%，占比的依次是，硫酸、雙氧水、氨水、氫氟酸、異丙醇、硝酸以及磷酸；功能性化學(xué)品占比達(dá)12%，占比依次是，半導(dǎo)體用顯影液、刻蝕液、面板用顯影液、剝離液以及緩沖刻蝕液。

梅特勒托利多電位滴定儀在電子濕化學(xué)品中的應(yīng)用非常廣泛，以下精選部分典型應(yīng)用：

電位滴定儀

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通用濕電子化學(xué)品

硫酸鈰法測定雙氧水含量

雙氧水含量的滴定通常有高錳酸鉀法和硫酸鈰滴定法，由于硫酸鈰作為滴定液非常穩(wěn)定，可以直接配制而不用標(biāo)定就可以等到標(biāo)準(zhǔn)溶液，使用非常方便。

取0.1~0.5g雙氧水，加DI水至錐形瓶20mL刻度，加20mL 20%硫酸用0.1mol/L硫酸鈰標(biāo)液滴定,滴至終點。

雙氧水含量結(jié)果

采用高錳酸鉀法測定雙氧水含量，操作簡單，檢測快速（3-5min），測定結(jié)果準(zhǔn)確，測定重復(fù)性相對標(biāo)準(zhǔn)偏差可控制在1%以內(nèi)。

儀器配置：電位滴定儀，DMi140-SC氧化還原電極，DV1010滴定管

其他通用化學(xué)品解決方案

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功能性濕電子化學(xué)品

顯影液-四甲基氫氧化銨測定

梅特勒托利多電位滴定儀可有效控制四甲基氫氧化銨的含量，方法參照SJ/T11636-2016 電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定電位滴定法。

方法：精密稱取適量樣品（精確到0.0001g），置于滴定杯中，加入50mL去離子水，用0.1N鹽酸滴定液進(jìn)行滴定，以第一個等當(dāng)點計算四甲基氫氧化銨含量。

采用兩種方法對四甲基氫氧化銨的測定結(jié)果準(zhǔn)確，重復(fù)性好，最大絕對誤差均小于0.01%。

儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1020滴定管。

緩沖刻蝕液-氟化銨和氫氟酸測定

緩沖刻蝕液主要用來刻蝕晶圓上深槽的SiO2氧化膜。氧化膜的腐蝕速度在溫度一定時，主要取決于腐蝕液的配比和SiO2參雜情況。采用梅特勒托利多電位滴定儀測定腐蝕液的配比，測定結(jié)果準(zhǔn)確，重復(fù)性良好。

精密稱取適量樣品，加入50ml水稀釋，用0.1mol/L氫氧化鈉進(jìn)行滴定，滴定過程中有兩個突躍，第一個突躍為HF的滴定終點，第二個突躍為氟化銨的滴定終點。

HF的pKa為3.45，NH4+的pKa為9.25，所以第一個突躍為HF的滴定終點，第二個突躍為NH4F的滴定終點。根據(jù)HF和NH4+解離平衡常數(shù)的區(qū)別，采用一步滴定即可測定HF和NH4F的濃度。

儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1010滴定管

鋁刻蝕液-硝酸、磷酸、醋酸

三元混酸含量的滴定

方法一，主要應(yīng)用是鋁刻蝕液原料監(jiān)控：

刻鋁酸含量測定（4%HNO3、75%H3PO4、10%HAc）

滴定劑（0.2 M KOH-2-Isopronal）

溶劑：乙醇：丙二醇=1：1

儀器：電位滴定儀+DGi113-SC非水酸堿滴定電極

方法二，主要應(yīng)用是鋁刻蝕液生產(chǎn)槽監(jiān)控——分步滴定，原因：樣品在生產(chǎn)中帶入了鋁等其它離子會影響測定

第一步：利用氧化還原法，采用0.1N 硫酸亞鐵銨滴定HNO3

溶劑：硫酸-水（4：1）

第二步：利用酸堿滴定，采用0.5N NaOH滴定H3PO4 和 HAc

用飽和氯化鈉水溶液作溶劑：V1是硝酸+磷酸的第一個H，V2是HAc磷酸的第二個H

其他功能性濕電子化學(xué)品測定解決方案

3

DispenSix全自動取樣、在線滴定系統(tǒng)

在線分析系統(tǒng)所有化學(xué)分析部件均采用模塊化設(shè)計，分析模塊設(shè)計及材料選用完全耐腐的高性能材料如：玻璃, PTFE, PVDF 和 FEP。在實際運用中，用戶可以根據(jù)檢測指標(biāo)進(jìn)行配置，并根據(jù)工廠生產(chǎn)要求自行設(shè)定最適宜的分析周期。自動采集樣品和分析測定，分析過程結(jié)束后，儀器自動用去離子水沖洗反應(yīng)杯，將分析結(jié)果顯示到儀器屏幕，并通過以太網(wǎng)將數(shù)據(jù)傳輸至中控室LabX軟件工作站。同時labX工作站還可以實現(xiàn)與LIMS、ERP等系統(tǒng)的數(shù)據(jù)對接，真正實現(xiàn)24小時無人值守的監(jiān)控。

全自動高精度取樣單元Liquid Handler是一個有6個閥門的滴定管功能，可以精準(zhǔn)吸液、潰液和準(zhǔn)備，可在生產(chǎn)線上實時監(jiān)控槽液酸、堿、銅離子等含量。下面是Liquidhandler分別在線測定六價鉻的和在線測定鈾含量的方案，可見梅特勒托利多在線滴定系統(tǒng)的多元化。

模塊化的設(shè)計，任意零部件磨損或者老化可以進(jìn)行更換和維修，維修方便簡單，經(jīng)過培訓(xùn)，客戶可以自己進(jìn)行更換和維修。

現(xiàn)今，中國已成為全球最大的半導(dǎo)體消費市場。物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、人工智能等下一輪終端需求，為中國大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了新的機(jī)遇。我們在電子濕化學(xué)品的應(yīng)用方法和案例非常豐富，可以提供多種解決方案。

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參與實驗室實驗室儀器使用調(diào)研

領(lǐng)取電子半導(dǎo)體行業(yè)實驗應(yīng)用手冊

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